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普泰克 劃片膜/切割膜冷卻定型解決方案,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累,專為半導(dǎo)體晶圓劃片及切割工藝量身打造。
普泰克 晶圓貼膜冷卻系統(tǒng)解決方案,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累與成熟的模塊化部件平臺,專為半導(dǎo)體先進(jìn)封裝(如晶圓減薄、晶圓貼膜/擴(kuò)膜工藝)等對溫度極其敏感的嚴(yán)苛場景量身打造。
普泰克 真空兼容循環(huán)冷卻器,在真空熱試驗(yàn)、半導(dǎo)體晶圓測試、薄膜沉積及材料科學(xué)研究等場景中,真空腔體內(nèi)部的散熱途徑極為有限——缺乏空氣對流,熱量僅能依靠熱傳導(dǎo)與熱輻射傳遞,這對配套的冷卻設(shè)備提出了較高要求。
普泰克 光刻機(jī)冷卻系統(tǒng),依托于成熟的熱力學(xué)循環(huán)與精密自動化控制技術(shù),旨在為半導(dǎo)體光刻工藝提供穩(wěn)定、潔凈、低振動的恒溫環(huán)境。
普泰克 去離子水加熱冷卻系統(tǒng),是一款專為半導(dǎo)體制造、精密電子加工及實(shí)驗(yàn)室等濕法工藝量身定制的專業(yè)級溫控裝備。
普泰克 去離子水加熱冷卻循環(huán)系統(tǒng),是一款專為半導(dǎo)體制造、精密電子加工及實(shí)驗(yàn)室等濕法工藝量身定制的專業(yè)級溫控裝備。
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